重大突破!芯片光刻胶关键技术被攻克:原材料全部国产 配方全自主设计
快科技10月25日消息,重大自主据华中科技大学官微消息,突破近日,芯片该校武汉光电国家研究中心团队,光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍,原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品,已通过半导体工艺量产验证,部国实现了原材料全部国产,产配配方全自主设计,重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示,芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料,用于芯片制造的胶关键技光刻环节,工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时,会在晶圆上涂上光刻胶,在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光,经过一系列处理后,晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料,国外企业对其原料和配方高度保密,目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优,其对刻蚀工艺表现更好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示:“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点,最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶,致力于突破国外卡脖子关键技术,为国内相关产业带来更多惊喜。”
- ·迄今性能最强手机!一加13蓝调时刻图赏
- ·周一日韩股市收跌 日经225指数收盘跌1.32%
- ·百度网盘推出“超能画布”:一键生成创意大片 身临其境
- ·奔腾集团信披涉嫌违法 相关责任人被立案调查
- ·《被美女包围前传》Steam褒贬不一:吃鸡联动遭玩家吐槽
- ·REDMI全新品牌标识今日正式官宣:字母全红全大写 寓意敢红而强大
- ·中国买家集中北美购房 海外置业投资渠道悄然改变
- ·中国买家集中北美购房 海外置业投资渠道悄然改变
- ·全球首发A725全大核架构!联发科天玑8400性能超越骁龙8 Gen2
- ·“尼康倒闭了”被传开 “受手机冲击”是事实
- ·东莞一物流公司老板欠薪失踪被抓 称欠薪是股东的事
- ·“美国贴吧”Reddit推视频平台 覆盖桌面端与移动端
- ·荣耀官宣成为《哪吒之魔童闹海》官方合作伙伴|2025魔法科技年货节开启
- ·起底“万向系” 鲁冠球之子鲁伟鼎接过父旗调整版图
- ·白酒龙头股企业贵州茅台市值比肩中国石化
- ·茅台酒2018年销售计划出炉 护航贵州茅台股价?
- ·全新岚图梦想家乾崑智驾ADS 3.0迎来重磅升级 增车位到车位等核心功能
- ·中国数字经济发展蓝皮书2017在第四届世界互联网大会上发布
- ·前10个月我国对外非金融类直接投资同比增长10.6%
- ·民航局关于拟批准天津货运航空有限公司筹建的公示
- ·成本骤降30%!Intel至强6性能核成数据中心首选:AI性能达AMD Turin 5.4倍
- ·携程旅行网再回应虐童事件:项目负责人并未按要求抽查视频
- ·孙俪热捧花粉儿app遭投诉 回应称存在技术漏洞
- ·宠物行业越来越热 “钱景”可观难掩乱象
- ·长安汽车:1000kW驱动电机明年量产 推背感和战斗机起飞一样
- ·超低价拼单咋老空欢喜 拼购平台为扩大用户量套路深